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  14       O    -0.54    -0.76    12.77     -35.23      -0.45    -1.21     16
  15       Si    0.69    -0.01    29.78    -169.99      -5.06    -5.07     16
  16       C    -0.08    -0.09     8.66     -39.60      -0.34    -0.44     16
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  18       O    -0.17    -0.25    10.52       7.67       0.08    -0.17     16
  19       C    -0.02     0.02    12.03      29.30       0.35     0.38     16
  20       C    -0.21     0.22     8.86     -37.46      -0.33    -0.11     16
  21       C     0.13     0.12     4.14     -67.12      -0.28    -0.16     16
  22       H     0.13     0.46     7.22     -51.93      -0.38     0.09     16
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  24       C     0.08    -0.10     5.28     -25.92      -0.14    -0.24     16
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 Total:          0.00   -10.73   382.48                 -9.08   -19.81