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  10       C     0.14    -4.08     2.78      44.99       0.13    -3.96     16
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  14       O    -0.56     2.90    15.00      -3.94      -0.06     2.84     16
  15       C    -0.15     2.47     5.88     -20.06      -0.12     2.36     16
  16       C     0.13    -1.25     7.28      22.67       0.17    -1.09     16
  17       F    -0.13     0.32    15.55      44.97       0.70     1.02     16
  18       C    -0.15     1.67     8.62      22.28       0.19     1.86     16
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  20       C    -0.08     1.38     2.43      71.23       0.17     1.56     16
  21       O    -0.56    10.08    12.86    -148.98      -1.92     8.16     16
  22       Si    0.76   -12.72    30.19      68.60       2.07   -10.65     16
  23       C     0.11    -2.14     7.23      22.33       0.16    -1.98     16
  24       F    -0.12     2.24    16.73      44.97       0.75     2.99     16
  25       C    -0.07     1.60     9.52      22.57       0.21     1.81     16
  26       C    -0.13     4.47     5.60      30.59       0.17     4.65     16
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  28       H     0.13    -7.99     8.11      -2.39      -0.02    -8.01     16
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  32       H     0.12    -7.95     8.11      -2.39      -0.02    -7.97     16
  33       H     0.12    -7.87     8.14      -2.39      -0.02    -7.89     16
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  47       H     0.09    -3.10     8.14      -2.39      -0.02    -3.12     16
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  49       H     0.08    -3.49     7.60      -2.39      -0.02    -3.50     16
  50       H     0.09    -4.71     6.63      -2.39      -0.02    -4.73     16
 Total:          1.00   -88.33   388.79                  3.13   -85.20