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   4       O    -0.50    -3.55    15.20     -23.71      -0.36    -3.91     16
   5       C     0.16     0.09     2.56     -68.70      -0.18    -0.09     16
   6       C    -0.39     1.29     5.49      38.33       0.21     1.50     16
   7       Si    1.00    -5.50    13.65    -169.99      -2.32    -7.82     16
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   9       C    -0.44     2.25     8.65     101.05       0.87     3.13     16
  10       C    -0.20     0.62     3.98      60.83       0.24     0.87     16
  11       N    -0.58    -0.41     2.53    -106.17      -0.27    -0.68     16
  12       C     0.57     2.11     6.59     -12.39      -0.08     2.03     16
  13       O    -0.52    -3.87    15.54      -7.73      -0.12    -3.99     16
  14       C    -0.13    -0.24     5.41    -104.97      -0.57    -0.81     16
  15       C    -0.06     0.03     7.72     -39.20      -0.30    -0.28     16
  16       C    -0.15     0.12    10.01     -39.57      -0.40    -0.27     16
  17       C     0.11     0.06     6.62     -39.27      -0.26    -0.20     16
  18       F    -0.12    -0.10    12.58       2.25       0.03    -0.07     16
  19       C    -0.16    -0.15     4.78    -104.62      -0.50    -0.65     16
  20       C    -0.08    -0.04     2.81      36.01       0.10     0.07     16
  21       O    -0.53    -0.52    12.88     -35.23      -0.45    -0.97     16
  22       Si    0.93     0.81    26.09    -169.99      -4.43    -3.63     16
  23       H    -0.23    -0.25     5.29      56.52       0.30     0.05     16
  24       H    -0.25    -0.49     7.11      56.52       0.40    -0.09     16
  25       H    -0.25    -0.52     7.11      56.52       0.40    -0.12     16
  26       C    -0.02    -0.03     9.22     -39.21      -0.36    -0.39     16
  27       H     0.06     0.16     8.13     -51.93      -0.42    -0.27     16
  28       H     0.10    -0.14     8.14     -51.93      -0.42    -0.56     16
  29       H     0.06     0.06     8.13     -51.93      -0.42    -0.36     16
  30       H     0.11     0.01     8.14     -51.93      -0.42    -0.42     16
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  44       H     0.38    -0.71     8.40      45.56       0.38    -0.33     16
  45       H     0.15     0.18     7.94     -52.48      -0.42    -0.23     16
 Total:          0.00   -10.66   373.70                 -7.47   -18.13