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  14       C    -0.18    -0.09     5.98     -19.87      -0.12    -0.21     16
  15       C    -0.19     1.32    10.38      67.30       0.70     2.01     16
  16       S     0.25    -1.73    20.20     -56.49      -1.14    -2.87     16
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  20       Si    0.73    -3.19    30.92      68.60       2.12    -1.07     16
  21       C    -0.08    -0.25     9.95      22.67       0.23    -0.02     16
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  23       H     0.15    -1.90     8.14      -2.39      -0.02    -1.92     16
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 Total:          0.00   -34.20   348.18                 -4.51   -38.71