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   5       N    -0.72     1.22     5.88     -53.88      -0.32     0.90     16
   6       C     0.12    -0.25     1.01    -133.11      -0.13    -0.38     16
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  14       C     0.00    -0.01     8.90     -39.20      -0.35    -0.36     16
  15       C    -0.12    -0.24     5.15    -104.61      -0.54    -0.78     16
  16       C    -0.07     0.00     2.95      36.01       0.11     0.10     16
  17       O    -0.54     0.07    11.48     -35.23      -0.40    -0.34     16
  18       Si    0.68    -0.25    30.73    -169.99      -5.22    -5.48     16
  19       C     0.11     0.18     6.67     -39.28      -0.26    -0.08     16
  20       F    -0.12    -0.29    12.85       2.25       0.03    -0.26     16
  21       C    -0.15     0.04    10.01     -39.57      -0.40    -0.35     16
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  24       C    -0.11     0.24     5.10     -26.96      -0.14     0.10     16
  25       C     0.53     0.04     6.53     -10.71      -0.07    -0.03     16
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 Total:          0.00   -11.30   381.46                 -9.98   -21.29