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  12       C    -0.07     0.10     2.37      71.24       0.17     0.27     16
  13       O    -0.55     0.24    12.88    -148.98      -1.92    -1.67     16
  14       Si    0.78    -5.07    29.91      68.60       2.05    -3.02     16
  15       C     0.21     0.40     6.67      22.60       0.15     0.55     16
  16       O    -0.31    -0.69     9.80     -90.31      -0.88    -1.57     16
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  24       O    -0.50     3.29    12.91    -148.98      -1.92     1.37     16
  25       C     0.44    -0.21     2.85      71.98       0.21    -0.01     16
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  28       F    -0.19    -0.85    17.18      44.97       0.77    -0.07     16
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  32       H     0.05     0.18     8.13      -2.38      -0.02     0.16     16
  33       H     0.43    -4.46     6.70     -92.71      -0.62    -5.08     16
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  50       H     0.12     0.65     7.09      -2.39      -0.02     0.63     16
 Total:          0.00   -34.78   427.58                  2.05   -32.74