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   5       C     0.17     0.30     1.01    -132.07      -0.13     0.17     16
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  14       C     0.11    -0.03     5.32      -3.58      -0.02    -0.05     16
  15       N    -0.42    -0.90     3.11    -107.24      -0.33    -1.24     16
  16       C     0.04     0.07     6.18     -81.87      -0.51    -0.43     16
  17       C    -0.05     0.07     2.98      36.01       0.11     0.18     16
  18       O    -0.55     1.19    10.65     -35.23      -0.38     0.82     16
  19       Si    0.71    -1.71    31.22    -169.99      -5.31    -7.02     16
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  21       C    -0.14     0.18     6.64     -25.83      -0.17     0.01     16
  22       C     0.07     0.00     1.33     -89.80      -0.12    -0.12     16
  23       O    -0.50     0.36    12.91     -35.23      -0.45    -0.09     16
  24       C     0.44     0.45     2.83      37.16       0.11     0.56     16
  25       F    -0.17    -0.48    17.20       2.25       0.04    -0.44     16
  26       F    -0.18    -0.10    16.72       2.25       0.04    -0.06     16
  27       F    -0.17    -0.31    15.74       2.25       0.04    -0.27     16
  28       C    -0.10    -0.22     6.05     -25.92      -0.16    -0.38     16
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  32       H     0.41    -0.26     7.80     -40.82      -0.32    -0.58     16
  33       H     0.09     0.18     8.14     -51.93      -0.42    -0.24     16
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  50       H     0.12     0.45     7.20     -51.93      -0.37     0.07     16
 Total:          0.00   -11.26   418.90                 -8.16   -19.42