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  16       F    -0.14    -0.44    17.27       2.25       0.04    -0.40     16
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  21       C    -0.13    -0.18     9.49     -37.49      -0.36    -0.53     16
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  25       Si    0.71    -0.86    31.12    -169.99      -5.29    -6.15     16
  26       H     0.08    -0.24     8.14     -51.93      -0.42    -0.67     16
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  42       H    -0.25    -0.39     7.11      56.52       0.40     0.01     16
  43       H    -0.26    -0.38     7.11      56.52       0.40     0.02     16
 Total:          0.00    -8.85   361.63                -10.53   -19.38