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  14       C    -0.06     0.04     2.81      36.00       0.10     0.14     16
  15       O    -0.54    -0.38    12.82     -35.23      -0.45    -0.84     16
  16       Si    0.68    -1.07    29.87    -169.99      -5.08    -6.15     16
  17       C    -0.04    -0.07     9.82     -39.26      -0.39    -0.45     16
  18       C    -0.02    -0.06     7.35     -39.09      -0.29    -0.35     16
  19       F    -0.13    -0.40    16.65       2.25       0.04    -0.36     16
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  23       H     0.05    -0.03     8.14     -51.93      -0.42    -0.45     16
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  29       H     0.07     0.14     8.14     -51.93      -0.42    -0.28     16
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  34       H     0.38    -1.25     8.74      45.56       0.40    -0.85     16
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  41       H     0.07    -0.08     8.14     -51.93      -0.42    -0.50     16
 Total:          0.00    -4.63   327.47                -10.50   -15.13