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   4       H     0.10    -0.41     7.87      -2.38      -0.02    -0.43     16
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   7       H     0.11    -0.72     8.14      -2.39      -0.02    -0.74     16
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   9       N    -0.71    -0.51     5.71    -344.81      -1.97    -2.48     16
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  11       N    -0.53    -2.15     9.57    -193.03      -1.85    -3.99     16
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  13       C    -0.20     0.11     5.40     -19.77      -0.11     0.00     16
  14       C    -0.07     0.17     2.83      71.23       0.20     0.37     16
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  16       Si    0.76    -2.95    29.82      68.60       2.05    -0.90     16
  17       C    -0.04    -0.07     9.75      22.48       0.22     0.15     16
  18       C    -0.04    -0.16     7.35      22.58       0.17     0.01     16
  19       F    -0.14    -0.75    16.65      44.97       0.75     0.00     16
  20       C    -0.15     0.25     7.46      31.12       0.23     0.48     16
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  23       H     0.09    -0.21     8.14      -2.39      -0.02    -0.23     16
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  36       H     0.08     0.13     7.90      -2.39      -0.02     0.11     16
 Total:          0.00   -13.14   307.73                 -0.18   -13.32