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   4       C    -0.18    -0.31     8.37      37.16       0.31     0.00     16
   5       O    -0.37    -0.99     9.94     -40.30      -0.40    -1.40     16
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  10       H     0.12     0.04     7.46     -51.93      -0.39    -0.34     16
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  12       C    -0.12     0.31     3.75     -89.81      -0.34    -0.03     16
  13       H     0.10    -0.29     8.14     -51.93      -0.42    -0.71     16
  14       C     0.15    -0.12     5.53      -4.04      -0.02    -0.14     16
  15       N    -0.72    -0.42     5.71     -60.34      -0.34    -0.76     16
  16       C     0.39     1.11     7.49    -154.86      -1.16    -0.05     16
  17       N    -0.51    -1.81     9.57     -12.36      -0.12    -1.93     16
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  20       C    -0.06     0.05     2.83      36.01       0.10     0.15     16
  21       O    -0.55     0.32    12.76     -35.23      -0.45    -0.13     16
  22       Si    0.68    -1.36    29.82    -169.99      -5.07    -6.43     16
  23       C    -0.03    -0.07     9.75     -39.26      -0.38    -0.46     16
  24       C    -0.02    -0.05     7.35     -39.09      -0.29    -0.34     16
  25       F    -0.13    -0.39    16.65       2.25       0.04    -0.35     16
  26       C    -0.13     0.38     7.39     -25.91      -0.19     0.19     16
  27       H     0.06     0.08     8.14     -51.93      -0.42    -0.34     16
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  31       H     0.08    -0.14     8.14     -51.93      -0.42    -0.57     16
  32       H     0.07    -0.04     8.14     -51.93      -0.42    -0.46     16
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  46       H    -0.25    -0.29     7.11      56.52       0.40     0.11     16
  47       H     0.15     0.10     8.06     -52.49      -0.42    -0.33     16
  48       H     0.09    -0.33     8.08     -51.93      -0.42    -0.75     16
  49       H     0.08    -0.25     8.14     -51.93      -0.42    -0.67     16
 Total:          0.00    -8.05   400.33                -10.52   -18.56