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   5       O    -0.37    -2.29     9.94     -55.42      -0.55    -2.84     16
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  16       C     0.38     2.49     7.49     133.08       1.00     3.49     16
  17       N    -0.53    -4.28     9.57    -193.03      -1.85    -6.13     16
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  20       C    -0.07     0.17     2.83      71.24       0.20     0.37     16
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  22       Si    0.77    -3.23    29.82      68.60       2.05    -1.18     16
  23       C    -0.04    -0.17     9.75      22.48       0.22     0.05     16
  24       C    -0.03    -0.20     7.35      22.59       0.17    -0.04     16
  25       F    -0.14    -0.89    16.65      44.97       0.75    -0.14     16
  26       C    -0.12     0.72     7.39      31.12       0.23     0.95     16
  27       H     0.06     0.19     8.14      -2.39      -0.02     0.17     16
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  32       H     0.07    -0.13     8.14      -2.39      -0.02    -0.15     16
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  47       H     0.16     0.15     8.06      -2.91      -0.02     0.13     16
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  49       H     0.09    -0.61     8.14      -2.39      -0.02    -0.63     16
 Total:          0.00   -20.37   400.33                 -1.17   -21.54