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  16       C    -0.05     0.06     2.84      36.00       0.10     0.16     16
  17       O    -0.54     0.21    12.78     -35.23      -0.45    -0.24     16
  18       Si    0.69    -1.37    29.82    -169.99      -5.07    -6.44     16
  19       C    -0.04    -0.03     9.75     -39.26      -0.38    -0.41     16
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  21       F    -0.13    -0.36    16.65       2.25       0.04    -0.32     16
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  24       H     0.10    -0.30     8.14     -51.93      -0.42    -0.72     16
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  41       H     0.06    -0.12     6.51     -51.93      -0.34    -0.46     16
 Total:          0.00    -7.14   338.52                 -9.05   -16.18