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  15       Si    0.78    -4.68    29.82      68.60       2.05    -2.63     16
  16       C    -0.08    -0.13     9.47      22.48       0.21     0.09     16
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  18       F    -0.13    -1.27    15.52      44.97       0.70    -0.57     16
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 Total:          0.00   -11.63   312.88                 -0.10   -11.72