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  13       C    -0.06    -0.03     2.81      36.01       0.10     0.08     16
  14       O    -0.55    -0.34    12.82     -35.23      -0.45    -0.79     16
  15       Si    0.68    -0.35    29.88    -169.99      -5.08    -5.43     16
  16       C     0.00    -0.01     9.84     -39.32      -0.39    -0.39     16
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  21       H     0.06    -0.07     8.14     -51.93      -0.42    -0.50     16
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  38       H     0.07    -0.07     8.14     -51.93      -0.42    -0.50     16
 Total:          0.00    -5.61   300.21                -10.54   -16.15