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   4       C    -0.46     2.16     8.53     113.37       0.97     3.13     16
   5       C    -0.37     0.49     4.59      22.27       0.10     0.59     16
   6       C    -0.10     0.02     9.29      22.27       0.21     0.22     16
   7       C    -0.12    -0.17     9.70      22.27       0.22     0.04     16
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   9       C     0.09    -0.04     4.86      71.23       0.35     0.31     16
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  14       C    -0.07     0.24     2.82      71.23       0.20     0.44     16
  15       O    -0.55     1.06    12.77    -148.98      -1.90    -0.84     16
  16       Si    0.97    -2.29    25.07      68.60       1.72    -0.57     16
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  20       C    -0.08    -0.05     8.96      22.28       0.20     0.15     16
  21       C    -0.15    -0.29     5.45     -19.88      -0.11    -0.40     16
  22       C     0.51     1.80     3.36      71.24       0.24     2.04     16
  23       F    -0.18    -0.91    17.30      44.97       0.78    -0.13     16
  24       F    -0.18    -0.74    16.47      44.97       0.74     0.01     16
  25       F    -0.18    -0.81    16.46      44.97       0.74    -0.07     16
  26       C    -0.16    -0.16     8.39      22.37       0.19     0.03     16
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  31       H     0.07    -0.24     7.96      -2.39      -0.02    -0.26     16
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  33       H     0.07    -0.38     7.96      -2.39      -0.02    -0.39     16
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  45       H     0.15    -0.09     7.60      -2.91      -0.02    -0.11     16
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  48       H     0.14    -0.61     7.43      -2.91      -0.02    -0.63     16
 Total:          0.00   -12.58   412.45                  8.15    -4.43