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   4       O    -0.54    -6.05    15.65      21.95       0.34    -5.71     16
   5       C    -0.09     0.35     4.26     -10.96      -0.05     0.31     16
   6       H     0.18    -2.15     8.14      -2.39      -0.02    -2.17     16
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  13       O    -0.65    -4.34     9.78     -62.78      -0.61    -4.96     16
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  15       C     0.13     0.48     6.48      22.44       0.15     0.63     16
  16       F    -0.13    -1.25    16.73      44.97       0.75    -0.50     16
  17       C    -0.12     0.41     9.66      22.30       0.22     0.63     16
  18       C    -0.03     0.28     5.35     -19.86      -0.11     0.18     16
  19       C    -0.08     0.80     2.80      71.24       0.20     1.00     16
  20       O    -0.55     4.73    12.83    -148.98      -1.91     2.82     16
  21       Si    0.78    -9.10    29.80      68.60       2.04    -7.05     16
  22       C    -0.13     1.36     8.64      22.30       0.19     1.55     16
  23       C     0.14    -0.75     6.40      22.44       0.14    -0.61     16
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  26       H     0.06     0.02     8.13      -2.39      -0.02     0.00     16
  27       H     0.06    -0.05     8.13      -2.39      -0.02    -0.07     16
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  29       H     0.09     0.27     7.39      -2.39      -0.02     0.25     16
  30       H     0.13    -1.01     8.14      -2.39      -0.02    -1.03     16
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  33       H     0.40    -6.84     8.70     -74.06      -0.64    -7.48     16
  34       H    -0.27     2.28     7.11      99.48       0.71     2.99     16
  35       H    -0.30     0.73     7.11      99.48       0.71     1.44     16
  36       H     0.20    -3.56     4.90      -2.91      -0.01    -3.57     16
  37       H     0.14    -1.42     8.14      -2.39      -0.02    -1.44     16
  38       H     0.09     0.04     7.41      -2.38      -0.02     0.02     16
 Total:          0.00   -32.20   345.04                  0.16   -32.04