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   2       C     0.14     0.16     1.13     -90.62      -0.10     0.06     16
   3       C    -0.14     0.11     8.85      37.15       0.33     0.44     16
   4       C    -0.18    -0.23     8.37      37.15       0.31     0.08     16
   5       O    -0.36    -0.80     9.94     -40.33      -0.40    -1.20     16
   6       C     0.65     1.55     8.06      54.05       0.44     1.98     16
   7       O    -0.56    -2.63    11.48     -19.28      -0.22    -2.85     16
   8       N    -0.70     0.51     5.27     -57.84      -0.30     0.21     16
   9       C     0.14    -0.27     4.33     -67.02      -0.29    -0.56     16
  10       H     0.11    -0.06     7.46     -51.93      -0.39    -0.45     16
  11       C    -0.15     0.37     7.44     -25.83      -0.19     0.18     16
  12       C    -0.11     0.40     3.88     -89.81      -0.35     0.05     16
  13       H     0.10    -0.32     8.14     -51.93      -0.42    -0.75     16
  14       C     0.07    -0.22     4.57      37.16       0.17    -0.05     16
  15       O    -0.31     0.22     9.01     -19.56      -0.18     0.04     16
  16       C     0.13     0.02     6.61     -39.23      -0.26    -0.24     16
  17       C    -0.12    -0.10     5.28    -104.48      -0.55    -0.65     16
  18       C    -0.07    -0.06     2.33      36.00       0.08     0.02     16
  19       O    -0.53    -0.89    12.65     -35.23      -0.45    -1.33     16
  20       Si    0.74     0.23    30.17    -169.99      -5.13    -4.90     16
  21       C    -0.11    -0.07     8.63     -39.53      -0.34    -0.41     16
  22       C     0.07     0.08     7.30     -39.42      -0.29    -0.21     16
  23       F    -0.14    -0.30    17.27       2.25       0.04    -0.26     16
  24       C    -0.11     0.03    10.02     -39.53      -0.40    -0.36     16
  25       C    -0.18     0.17     9.04     -39.44      -0.36    -0.19     16
  26       C    -0.14     0.57     7.39     -25.92      -0.19     0.38     16
  27       H     0.06     0.05     8.14     -51.93      -0.42    -0.37     16
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  31       H     0.08    -0.17     8.14     -51.93      -0.42    -0.59     16
  32       H     0.07    -0.06     8.14     -51.93      -0.42    -0.48     16
  33       H     0.09     0.29     5.88     -51.92      -0.31    -0.02     16
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  49       H     0.08    -0.37     8.14     -51.93      -0.42    -0.79     16
 Total:          0.00    -6.40   398.02                 -9.75   -16.15