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   4       C    -0.18    -0.61     8.37      71.98       0.60     0.00     16
   5       O    -0.37    -1.88     9.94     -55.44      -0.55    -2.43     16
   6       C     0.64     3.90     8.06     129.79       1.05     4.95     16
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   9       C     0.13    -0.39     4.24      45.51       0.19    -0.19     16
  10       H     0.10     0.11     7.47      -2.39      -0.02     0.09     16
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  12       C    -0.10     0.62     4.01     -10.27      -0.04     0.58     16
  13       H     0.11    -0.57     8.14      -2.38      -0.02    -0.59     16
  14       C     0.06    -0.36     4.58      71.98       0.33    -0.03     16
  15       O    -0.31    -0.41     9.47     -92.93      -0.88    -1.29     16
  16       C     0.14     0.50     6.66      22.49       0.15     0.65     16
  17       C    -0.10    -0.66     5.30     -19.77      -0.10    -0.76     16
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  20       Si    0.77     0.05    30.21      68.60       2.07     2.12     16
  21       C    -0.14    -1.12     8.63      22.30       0.19    -0.93     16
  22       C     0.04     0.30     7.30      22.37       0.16     0.47     16
  23       F    -0.15    -1.48    17.27      44.97       0.78    -0.70     16
  24       C    -0.10    -0.16    10.02      22.30       0.22     0.06     16
  25       C    -0.17     0.10     9.03      22.36       0.20     0.30     16
  26       C    -0.12     1.07     7.39      31.12       0.23     1.30     16
  27       H     0.06     0.13     8.14      -2.39      -0.02     0.11     16
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  29       H     0.06     0.52     5.88      -2.39      -0.01     0.51     16
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  37       H     0.06     0.05     8.14      -2.39      -0.02     0.03     16
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  49       H     0.09    -0.95     8.14      -2.39      -0.02    -0.97     16
 Total:          0.00   -22.00   398.48                  1.02   -20.97