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   4       C    -0.18    -0.25     8.37      37.15       0.31     0.07     16
   5       O    -0.37    -0.77     9.94     -40.31      -0.40    -1.17     16
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   9       C     0.14    -0.26     4.24     -67.12      -0.28    -0.54     16
  10       H     0.12    -0.03     7.46     -51.93      -0.39    -0.42     16
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  13       H     0.11    -0.29     8.14     -51.93      -0.42    -0.71     16
  14       C     0.07    -0.21     4.58      37.16       0.17    -0.04     16
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  16       C     0.13     0.06     6.69     -39.19      -0.26    -0.20     16
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  20       F    -0.11    -0.36    12.74       2.25       0.03    -0.34     16
  21       C    -0.16     0.09     5.13    -104.54      -0.54    -0.45     16
  22       C    -0.06     0.05     2.97      36.01       0.11     0.16     16
  23       O    -0.54     0.84    11.64     -35.23      -0.41     0.43     16
  24       Si    0.68    -0.38    30.81    -169.99      -5.24    -5.62     16
  25       C    -0.05     0.11     9.23     -39.60      -0.37    -0.26     16
  26       C    -0.19     0.41     9.04     -39.44      -0.36     0.05     16
  27       C    -0.13     0.58     7.39     -25.92      -0.19     0.39     16
  28       H     0.06     0.05     8.14     -51.93      -0.42    -0.37     16
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  31       H     0.07    -0.06     8.14     -51.93      -0.42    -0.49     16
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  33       H     0.07    -0.07     8.14     -51.93      -0.42    -0.49     16
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 Total:          0.00    -8.18   401.09                 -9.43   -17.62