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  14       C    -0.14    -0.03     8.77     -39.44      -0.35    -0.38     16
  15       C    -0.10    -0.05     5.81     -39.52      -0.23    -0.28     16
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  20       Si    0.54     1.05    26.82    -169.99      -4.56    -3.51     16
  21       C    -0.16    -0.15     8.23     -39.46      -0.32    -0.48     16
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  37       H     0.15    -0.08     5.32     -52.49      -0.28    -0.36     16
 Total:          0.00    -6.67   320.78                 -8.69   -15.36